真空鍍膜機是化工試驗裝置,反應裝置,微反應裝置概念及方法材料
主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體(ti) 包括很多種類,包括真空鍍膜機,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。
真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料,使其蒸發並凝結於(yu) 鍍件(金屬、半導體(ti) 或絕緣體(ti) )表麵而形成薄膜的一種方法。例如,真空鍍鋁、真空鍍鉻等。
真空鍍膜是化工試驗裝置,反應裝置,微反應裝置,靜電紡絲(si) 設備是真空應用領域的一個(ge) 重要方麵,它是以真空技術為(wei) 基礎,利用物理或化學方法,並吸收電子束、分子束、離子束、等離子束、射頻和磁控等一係列新技術,為(wei) 科學研究和實際生產(chan) 提供薄膜製備的一種新工藝。簡單地說,在真空中把金屬、合金或化合物進行蒸發或濺射,使其在被塗覆的物體(ti) (稱基板、基片或基體(ti) )上凝固並沉積的方法。
真空鍍膜是化工試驗裝置,反應裝置,微反應裝置,靜電紡絲(si) 設備的方法材料:
(1)真空蒸鍍:將需鍍膜的基體(ti) 清洗後放到鍍膜室,抽空後將膜料加熱到高溫,使蒸氣達到約13.3Pa而使蒸氣分子飛到基體(ti) 表麵,凝結而成薄膜。
(2)陰極濺射鍍:將需鍍膜的基體(ti) 放在陰極對麵,把惰性氣體(ti) (如氬)通入已抽空的室內(nei) ,保持壓強約1.33~13.3Pa,然後將陰極接上2000V的直流電源,便激發輝光放電,帶正電的氬離子撞擊陰極,使其射出原子,濺射出的原子通過惰性氣氛沉積到基體(ti) 上形成膜。
(3)化學氣相沉積:通過熱分解所選定的金屬化合物或有機化合物,獲得沉積薄膜的過程。
(4)離子鍍:實質上離子鍍係真空蒸鍍和陰極濺射鍍的有機結合,兼有兩(liang) 者的工藝特點。