真空安定性測試儀傳感器測壓線性檢驗

真空安定性測試儀(yi) 傳(chuan) 感器測壓線性檢驗步驟如下：

使係統處在真空狀態下，關(guan) 上二通閥（“19”），開啟放氣閥（“16”），讓空氣進入真空泵，關(guan) 斷真空泵開關(guan) （“2”）。

微微開啟二通閥，讓少許空氣進入真空係統後，即關(guan) 閉該閥，觀察真空表指針所指讀數和大氣壓的差值與(yu) 測壓表上讀數是否一致。

重複該過程，使真空表指針停在不同位置上，並觀察其讀數和大氣壓的差值是否與(yu) 測壓表上讀數一致，若兩(liang) 者之間相差不大於(yu) ±0.2KPa，則傳(chuan) 感器測壓線性良好。

檢驗完畢，真空係統放入大氣，關(guan) 斷測壓表電源。

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