一、當蒸發室真空度達到所需要求工作真空度時,可進行電阻蒸發。操作過程如下:
a.選擇好阻蒸,手動操作擋板機構,使擋板置於(yu) 蒸發源上方,緩緩調節坩堝溫度升溫待蒸發材料預熔除氣完畢後,打開擋板開始蒸發(使用設備底部磁力驅動把手打開坩堝口)。
b.通過上下鍵設定目標溫度,按下加熱啟停鍵對坩堝進行加熱。
二、蒸發完畢後,對被鍍工件進行一段時間的真空狀態儲(chu) 存。然後操作真空度。打開放氣閥對蒸發室放氣,待放氣閥完畢後,及時關(guan) 閉放氣閥。打開蒸發室門,取下工件。
三、取出工件後,應迅速做好下一周期的準備工作。關(guan) 上蒸發室門,擰緊門框。重複抽真空。蒸發室暴露大氣的時間不應超過15min。
四、關(guan) 總電源、水源、氣源。 |
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